等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
产品特点
等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。
等离子体清洗还具有以下几个特点：容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。
用途
（1）医用材料研究，主要为研究和开发企业或研究所；
（2）电子领域，应用较为广泛，如电路板等；
（3）生物芯片领域；
（4）高分子材料研究或开发单位；
（5）高端和精密研究的清洗、除污。保证仪器的正常使用；
（6）光学材料的开发和研究；
（7）电化学单位，进行表面处理的单位；
（8）其他主要进行表面处理的单位。
