离子束显微镜的应用范围是什么？
聚焦式离子束显微镜广泛应用于半导体电子产业及IC 工业上，其主要的应用可分为以下五大类：
1、IC线路修补和布局验证；
2、透射电子显微镜(TEM) 试片制作；
3、组件故障观察与分析；
4、 生产线流程异常分析；
5、IC流程监控等。在MEMS加工领域，FIB更多的用于纳米尺度的微机构的制备或分析。
