扫描电子显微镜的基本结构是什么？

以德国ZEISS公司∑IGMA场发射扫描电子显微镜为例, 一套完整的扫描电子显微镜主要由五个单元组成 :

(1) 产生高能电子束的镜筒, 包括:电子枪、电磁透镜和扫描线圈;

(2) 接收并处理各种电子信号的成像系统:扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器;

(3) 记录电子图像的信息记录系统:摄像头、图像分析器和记录设备;

(4) 作为电子束与样品作用载体的真空系统:样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置;

(5) 调控扫描电子显微镜外部环境的电源系统:不间断电源、变压器、稳压器、安全控制线路和独立地线。

1-镜筒;

2-样品室;

3-EDS探测器;

4-监控器;

5-EBSD探测器;

6-计算机主机;

7-开机/待机/关机按钮;

8-底座;9-WDS探测器。