FormFactor InfinityXT探头 IXT110-A
InfinityXT 探头概述介绍 InfinityXT 探头系列。InfinityXT 增强并扩展了 FormFactor 行业领先的 Infinity 探头系列，十多年来，该系列为设备表征和建模社区的准确性和可重复性树立了标杆。新的 InfinityXT 系列提高了行业标准，具有更高的温度范围、更好的尖端可见性和耐用性，并随着市场的发展支持更窄的间距。
最近，在汽车、移动通信/5G 和物联网设备市场的推动下，该行业经历了射频和微波设备的爆炸式增长。新 InfinityXT 探头的开发以这些高增长市场的要求为指导。这些要求包括用于器件建模和表征的超宽带宽和宽温度范围。用于建模的器件测量是最苛刻的晶圆测量应用之一，需要极高的测量精度和可重复性，因为提取的参数对非常微小的差异非常敏感。
InfinityXT 探头的主要特性下一代晶圆探测延续 Infinity 系列行业领先的电气
性能耐高温 (175° C +)，适用于汽车
设备表征和其他应用更好的尖端可见性，以提高贴装精度
和可重复性通过实心铑触点提高针尖寿命/耐用性新的尖端架构支持更窄的
间距（例如 25um）先进的机械设计与小
触点相结合，可以在更小的焊盘/间距上进行探测，并
提高耐用性和稳健性
IXT67-A-GS-50 是 67 GHz 1.85 mm 连接器探头，采用斜角连接器主体样式，GS 触点的间距为 50 μm
IXT67-A-GSG-250 是一款 67 GHz 1.85 mm 连接器探头，采用成角度的连接器主体样式，GSG 触点的间距为 250 μm
部件号配置说明：
YYY = 尖端配置； 插入以下配置之一：GSG、GS 或 SG
ZZZ = 尖端接触到接触节距； 例如 100 = 100 μm（有关可用间距选择，请参阅第 2 页上的可用标准间距
FormFactor 的 IMS 产品提供强大的交钥匙功能，让您高枕无忧，并为当今重要且具有挑战性的测试应用收集高质量的晶圆上测量数据提供了更快的途径。集成测量系统将 FormFactor 合作伙伴（包括 Keysight Technologies）的仪器和其他产品与 FormFactor 的探针系统、探针以及为晶圆上的器件和集成电路提供关键数据所需的一切结合起来。
应用
静脉/简历(11)
射频/毫米波(13)
故障分析(4)
无线遥控(5)
光电(8)
硅光子学(3)
高功率(4)
微机电系统(10)
产品
MPS/EPS (5)
PM8/EPS200 (3)
PM300 (0)
Summit (7)
BlueRay (1)
CM300 (5)
IMS (Keysight) (5)
Wafer/Multi-chip Cryogenics (2)
Chip-scale Cryogenics (0)
Cryostats (0)
Vacuum/Pressure (3)
Tesla (3)
Software (0)
Accessories (0)
AUTOMATION LEVEL
Manual (13)
Semi-Automated (14)
Fully-Automated (9)
Autonomous Assistant (5)
ENVIRONMENT
Open (11)
Shielded (10)
Pressure (3)
Cryogenic (3)
Vacuum (5)
Oven (1)
MAX. WAFER SIZE
套餐级别(1)
100mm (2)
150mm (6)
200mm (19)
300mm (5)
板级(1)
200 毫米系统
无论是什么应用 - 器件表征、建模、工艺开发、设计调试或 IC 故障分析，Cascade 200 毫米手动和自动晶圆探针台都具有最先进的半导体工艺和大规模设备所需的精度和多功能性。
200mm 探针系统产品矩阵
SUMMIT200 半自动屏蔽 200mm 探针台
SUMMIT200
先进的 200 mm 半/全自动测头系统
学到更多Summit 200 mm 手动探针台
首脑
200 mm 手动/半自动探针系统
学到更多200mm 蓝光探针台
PA200 蓝光
200 mm 半/全自动生产测头系统
学到更多PM8手动测头系统
PM8
200 mm 手动开放式探针系统
学到更多EPS200RF 200 mm 手动探头系统
EPS200RF
200 毫米手动探头系统，用于高达 67 GHz 的射频测试
学到更多灵活的 EPS200MMW 系统
EPS200MMW
毫米波探测高达太赫兹和负载牵引
学到更多
集成测量系统
集成测量系统 - 是德科技 - 毫米波太赫兹
IMS-K-mmW/THz
带有 Keysight VNA 的集成测量系统，用于测量从 RF 到 mmW 到 THz 的 S 参数
学到更多集成测量系统 - Keysight Silicon Photonics
IMS-K-SiPh
带有 Keysight Photonics Application Suite 硬件和软件的集成系统
学到更多集成测量系统 - 是德科技 - 电源
IMS-K-Power
带有 Keysight PDA 的集成系统，用于功率半导体器件表征
学到更多集成测量系统 - Keysight - DC
IMS-K-DC
带有 Keysight SPA 的集成系统，用于直流参数测量
学到更多集成测量系统 - Keysight - 低频噪声
IMS-K-LFN
带有 Keysight A-LFNA 的集成系统，用于 1/f 闪烁噪声、RTN、相位噪声、器件表征和其他低频噪声测量
电力系统
功率半导体的广泛使用催生了快速高效表征功率器件的迫切需求。FormFactor 提供晶圆上功率器件表征系统，以缩短新功率器件的上市时间并跟上生产步伐。
TESLA200 高功率 200 毫米探头系统
特斯拉200
200 mm 半/全自动晶圆上功率器件表征系统
学到更多TESLA200 手动设备表征系统
T200
200 mm 手动/半自动晶圆上功率器件表征系统
晶圆/多芯片低温系统
我们用于晶圆上和多芯片测量的高性能低温探针台支持各种具有挑战性的应用，包括 IR 传感器测试、辐射测试、低温下的 DC 和 RF 测量。该系统可以处理长达 300 毫米的晶圆，并支持冷滤光片、冷快门和可选 f/值孔径以及多种光学仪器，如红外辐射源（黑体）。最多可以集成八个探针定位器和/或探针卡。自动芯片对齐、OCR 和晶圆标记读取是我们全自动和半自动系统的独有功能。冷却选项包括液氦 (LHe)、液氮 (LN2) 或无制冷剂冷却。在全球拥有超过 80 个站点的庞大安装基础，
Cascade PMC200 低温探针台
PMC200
200 mm 手动低温探针系统
学到更多PAC200 200 mm 半自动低温探针台
PAC200
200 mm 半自动低温探针系统
真空/压力系统
我们用于在高真空或受控压力环境中进行晶圆上测量的真空和压力探针台可实现精确的微辐射热计测试（非冷却 IR-FPA）、MEMS 表征（惯性 MEMS、谐振器和 RF MEMS、压力传感器）、IV /CV、RF/mmW 和光电测量。可以集成多个光学仪器，如 IR 辐射源（黑体）和多达八个探针定位器和/或探针卡。高稳定性设计可在无冷凝测试环境中提供出色的接触质量和准确的测量结果。步进和重复功能可通过我们的半自动系统实现高吞吐量。
级联 PMV200 真空探针台
PMV200
200 mm 手动真空探针系统
学到更多Cascade PAV200 真空探针台
PAV200
200 mm 半自动真空探针系统
学到更多带红外源的 200 mm 真空探针台
PAP200
200 毫米半自动真空和压力探针系统
