MTI ALD-1200X-R-4 管式炉系统
旋转粉末ALD 4“管式炉系统（高1200oC）-ALD-1200X-R-4
ALD-1200X-R-4是一种4英寸旋转管式炉，结合了两通道A LD 阀和一通道液汽输送（原子层沉积）以及四通道气体输送，从而通过。既ALD和CVD的智能设计，使ALD更具成本效益和负担得起的每一个研究小组。
规格：
控制面板
蒸气，ALD和气体流量的所有参数都集成到一个移动推车中，并由PLC通过6英寸触摸屏进行控制：
两通道ALD阀
对于通道MFC气体输送
请点击下图查看控制界面
ALD阀
两个带有脉冲控制器的ALD阀（持续时间至少10毫秒）
能够用热执行器加热
液体蒸气发生器
包括自动液体蒸气发生器，并连接到ALD阀
旋转炉
高1100oC，可连续加热
两个可编程的精密数字温度控制器，具有30个段。
输入功率：208 – 240V AC输入，最大单相。4千瓦
转速：0-10 RPM
4“石英管如下图
四个搅拌叶片 尺寸
防腐蚀压力表
3.8x10 -5 至1125托测量范围
防腐蚀，气体类型独立
大气中的高精度和可重复性，可实现可靠的大气压检测
快速的大气检测消除了等待时间并缩短了处理周期
易于更换的即插即用传感器元件
点击图片查看详细规格。
真空泵
（可选）
加工管内可达到10E-2 Torr 真空
不包括真空泵，建议您通过单击下面的图片订购用于CVD工艺的干式泵
多起泡器
可以增加 Quartz Crysta l和热电偶 来监控薄膜厚度和温度，但需要额外付费
保证
一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管，O形圈和加热元件）
合规
CE认证
应用笔记单击此处以了解如何 使用气体调节
带石英管的管式炉设计用于真空和< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低压
甲ttention：必须在气瓶安装的两级压力调节器，以限制压力低于3 PSI安全操作。
气体的流量应限制为<200 SCCM（或200 ml / min），以减少对管子的热冲击
所有石英管炉的真空极限定义：*真空压力只能在高1000°C的温度下安全使用
应用
使用ALD可以显着降低石榴石电解质和电极材料之间的高固-固界面阻抗。
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