Harmonic 604277 DC-SA PMA-14A-100-01-E500ML
站在 RF 到处理接口
Octiv Suite RF 诊断 (VI Probe) 是一种在线 RF 电压、电流、相位、谐波和等离子诊断系统。它可以测量射频功率的所有参数，将它们分解为单独的分量，并同时重建多个基频的波形。该尖端系统还可以通过将射频电极用作传感器来测量等离子体参数，例如离子通量。在向等离子体反应器输送电力方面，Octiv Suite 确实是同类产品中的佼佼者。
概述
Octiv Suite 是一项独特的前沿技术，可让科学家评估 RF 参数在等离子工艺性能等领域的复杂相互依赖性。Octiv Suite 测量并显示复杂的波形。该软件提取并分析关键的射频参数，例如构成波形的所有复杂组件的电压、电流和相位。
Octiv Suite RF 诊断 (VI 探针) 可用于诊断等离子体参数，例如离子通量、等离子体电阻和非线性鞘层阻抗。Octiv Suite 将表征具有多个基频、高谐波和互调分量的非线性负载。Octiv Suite 独特的软件算法可准确分析多频、谐波和互调分量的相位，并允许重建单个分量波形或多频组合波形。Octiv Suite 是市场上第一款也是唯一一款能够准确分析频率捷变 (FM) 应用和脉冲功率 (AM) 应用（时间分辨率 1μs）中的多个基频、谐波和互调分量的产品。
Octiv Suite RF 诊断 (VI Probe) 可帮助用户了解新工艺，例如多频或脉冲等离子体应用。它分析射频波形以测量等离子体参数，例如离子通量。使用 Octiv Suite 重建波形有助于更好地了解负载阻抗的差异。这对于腔室匹配和工具间比较等应用至关重要。Octiv Suite 提供了使用谐波分析分析过程端点和多变量故障检测和分类的功能。射频参数测量有助于过程指纹识别。Octiv Suite 的一个独特功能是能够分析过程的功率谱，这是多频应用的关键参数。阻抗分析用于检测不良的射频连接，磨损的部件和工艺化学的变化。Octiv Suite 让您有信心分析多频分量及其对过程的影响。
测量的射频参数
电压（1μs 时间分辨率）
电流（1μs 时间分辨率）
相位（1μs 时间分辨率）
谐波（1μs 时间分辨率）
阻抗（1μs 时间分辨率）
离子通量
测量功能
时间平均测量
这提供了电压、电流和相位随时间变化的平均值。
时间分辨测量
这允许用户将 V、I 和相位测量与外部同步信号同步。然后，用户可以通过同步脉冲周期获得关于作为时间或相位函数的离子能量分布的详细信息。通常脉冲周期将在毫秒到微秒的时间尺度上。
时间趋势测量
这允许用户在特定过程中随着时间的推移获得有关电压、电流和相位变化的信息。此功能不需要外部同步，所涉及的时间尺度可以在几秒到几小时的范围内。
史密斯圆图测量
监控负载阻抗，因为它显示在史密斯圆图上，并跟踪整个过程周期中的阻抗变化。
Octiv Suite 脉冲功率测量
Octiv Suite 以微秒分辨率测量脉冲功率时间曲线，同时保持非常高的精度 (1%)。它一次测量一个频率及其 15 个谐波。用户可以从 5 个频率的下拉菜单中选择他们希望分析的频率，或者用户可以在订购时请求 5 个特定频率。
仪表视图
查看传感器获取的过程参数。此功能提供了一种在过程硬件设置和安装期间监控 RF 功率传输的有用方法。数据可以记录到文件中进行分析。
史密斯圆图视图
谐波视图
借助独特的谐波视图，可以实时监测传输信号的电压和电流谐波。观察输送功率的谐波含量，直观地识别可能对过程变化敏感的谐波成分。
时间趋势视图
使用时间趋势视图实时监控每个射频参数。在获取时间序列数据时对其进行可视化。在流程运行期间获取每个参数的概览并监控运行到运行或腔室到腔室的变化。
探测
紧凑设计
Octiv Suite 设计紧凑且易于安装。它安装在匹配单元和等离子体室之间，以最准确地测量进入等离子体室的 RF 传输。
软件
频率
捷变 Octiv Suite 允许用户准确测量射频参数，同时跟踪快速变化的基频。例如：在变频调谐中匹配等离子体。
软件应用程序编程接口 (API)
传感器提供了一个全面的 API，以促进与第 3 方软件应用程序的集成。传感器初始化、配置和数据传输功能可在所有通用软件平台上轻松实现。
通信接口
标准 Octiv 通信接口是 USB 2.0，它为传感器供电，并支持实验室环境中的传感器配置和数据传输活动。为了与工业设备和制造自动化系统集成，可以使用基于 RS-232 或以太网的替代通信接口。即使在射频环境中，电气隔离也能确保可靠的数据传输。
电压范围 20 – 3000 Vrms
电流范围 0.1 – 20 臂
相位范围 ± 90o
谐波（电压、电流和相位） 多达 15 个谐波
频率范围 350 kHz - 300 兆赫
基本频率 5 同时
阻抗 1 至 500Ω
实际功率、正向功率和反射功率（瓦特） 200mW 至 12KW
实际功率、前向功率和反射功率 (dBm) 25dBm 至 70dBm
测量等离子体参数
离子通量（基于 300mm 电极） 1 A/m2 到 100 A/m2
等离子电阻 1 至 500Ω
非线性护套阻抗 .1 至 500Ω
脉冲参数（时间）
电压时间 1μs
当前时间 1μs
相位时间 1μs
谐波（电压、电流和相位）时间 1μs
频率时间 1μs
阻抗时间 1μs
功率实际、正向和反射（瓦特）时间 1μs
功率实际、前向和反射 (dBm) 时间 1μs
测量参数（精度）
电压精度 ± 1%
电流精度 ± 1%
相位精度 ± 1o
谐波（电压、电流和相位）精度 ± 5%
频率精度 ±10kHz
阻抗 ± 1%
实际功率、正向功率和反射功率（瓦特） ± 1%
实际功率、前向功率和反射功率 (dBm) ± 1%
测量参数（分辨率）
电压分辨率 0.25V
当前分辨率 10mA
相位分辨率 0.01°
谐波电压分辨率 0.25V
谐波电流分辨率 10mA
谐波相位分辨率 0.01°
频率分辨率 1kHz
阻抗分辨率 ± 1%
功率实际、前向和反射（瓦特）分辨率 ± 1%
功率实际、前向和反射 (dBm) 分辨率 ± 1%
传感器规格
连接器 BNC-母头、BNC-公头、HN-母头、HN-公头、LC-母头、LC-公头、N-母头、N-公头、SMA-母头、SMA-公头、
方面 70 毫米 x 107 毫米 x 55 | 根据要求定制设计
基本面数量 (F0) 最多 5 个同时
射频功率 最大 12.5 kW（受连接器限制）
工作温度 10°C - 80°C（50 至 176°F）
贮存温度 -20 至 +80°C（-4 至 +176°F）
均匀度 最高 2%
谐波含量 已测量（范围内无限制）
连接器 提供所有标准连接器
传感器阻抗 50Ω
认证 CE标志
校准周期 12个月
应用软件
操作系统 Windows
运行参数
阻抗 0Ω 至 5,000Ω
脉冲重复频率 10Hz 至 100KHz
电压 20V 至 3,000V
当前的 0.1A 至 100A
阶段 ±90o、±180o
电源频率 MF（350kHz 至 1MHz） ? 射频（1MHz 至 100MHz）
应用软件 (USB 2.0)
连通性 以太网网络服务协议*
Plato 探针是一种平面朗缪尔探针，设计用于在探针表面沉积绝缘膜时在沉积等离子体中工作。
测量的等离子体参数：
等离子体密度 ? 离子电流密度 ? 电子温度
Plato Spatial Probe 扫描整个等离子体并测量不同位置的参数，即使在探头表面沉积厚达 10 微米的绝缘层也是如此。
等离子体密度均匀性 ? 离子电流密度均匀性 ? 电子温度均匀性
MD LS4ER/14-135F
Contrinex RIS-1053-320
Wenglor Y1TA100QXT3
IDEC EC1A-310-MW-E28N509-3
Contrinex RPA-0213-120
SKAKO 511388
Euchner MGB-L1HB-PNA-L-115338
Sensopart V10-EYE-A1-R12
Kieback&Peter BMA4024
Benedikt&Jager M10H E ST061+G2
List-Magnetik 3110 Ferromaster
Gigahertz-Optik X1-1+XD-9510-4
IDEC SE2L-H05LP-TK3012
Contrinex RIS-1053-520
Gefran GFW-3PH-200-480-0-0-2-0-1-0-P
Euchner EGM12-1200C1791/V25
Wenglor ZLWS001
burster 8526-6100-S000S000
Contrinex RIS-1053-920
Rexroth 2.0250 H10XL-A00-0-M FILTERELEMENT
MD LS4ER/14-120K
di-soric SLI4-1651-S
Micro-Epsilon colorSENSOR LT-2-DU
Euchner MGB-L1B-PNA-L-115126
di-soric SLI4-1201-S
List-Magnetik Ferromaster
Sensopart V20-RO-A2-C
MIPEG DI-130 P01 001
Gavazzi RSGD4085E0VX310C
Contrinex RIS-1491-300
Euchner MGB-L2CB-PN-L-106224
Norbar Pro 50 1/2 15005
Rotronic HF520-EXWB1XX1XX
Camille Bauer SINEAX V604S
Premosys eFLAT-HG-II-4
Gudel 20XXHIJDDD-8.60436
Diell SSP/0P-1E
Vacuubrand VSK 3000
PERSKE KCS 72.28-2 D
IDEC SLC30N-0310-DHM2FB
MD LS4ER/20-150BL
Contrinex RIS-1053-720
Elcometer A456CFBI2
SCHLEGEL T25FGB
TDK-LAMBDA GEN150-34
Wenglor C5PC007
ABB OTAC-01
POWERSTAX U03601-3-024-150-x
W+S IS581.101CR65.01024.SCT1
Contrinex YCA-50K4-6300-G012
MICROSONIC dbk+4/M18/3CDD/M18 E+S
AirCom R10-04C
IDEC EC1A-310-MW-E28N509-6
Gavazzi G38910051230
VEIT 4215720140
Rotronic HC2-SM-EX
Gavazzi SC2AR30600D19
Contrinex MGI-12A-1418-NMS-149
CEAG GHG5114707R0003
Gavazzi RSWT6055GGV111
di-soric SLIH4-1653-WTHF
Micro-Epsilon colorSENSOR OT-3-MA-30-16
Telco SULG-A4-CU-22-1770-2
EGE IGMF30480
HERZOG 7-6600-275981-9
Bicker D3544-S1
AirCom 59-02A-200_01
FEASA OH-6
Wenglor SEMG419
lan-chang CE-MW14B3PH
MICROSONIC crm+35/IU/TC/E
EGE IGMF 005 GSP P31424/6M
Gavazzi SC2AR901050D19
di-soric SLI4-1051
P+G D1315
ABB RPBA-01
EMRAX EMRAX188 HV AC
HMS 021620-B
MICROSONIC crm+130/D/TC/E
WIEBROCK MSR 010
celesco PT5MA-60-S47-UP-420E-M6
IDEC EC1A-310-MW-E28N509-5
Sensopart V10-EYE-A1-I12
di-soric SLBH4-1653
Procentec ProfiHub B5+R
EGE SKZ 400 GR
EGE SZAb 400 EX-GR
Contrinex YBB-30R4-1600-G012
innovatek 501588
Euchner HBL-054975
Gavazzi ROG4K1002M9003X
Wenglor MLWL125
ETAS ES582.1
di-soric SLI4-1501
stober K402AG0350IE2D100K04
Contrinex YBB-30K2-1000-G012
GE PL9650-1-A-0-A-1-1-0-0-0
Emod EEDA80L4a
VEIT 144046
Feasa S2
IDEC EF1A-11WC-M25
Contrinex YBB-14K4-0700-G012
SCHLEGEL ALT2
Euchner MGB-L2HB-PNA-L-110000
VEIT 1215760010
Wenglor BB1C001
di-soric SLI4-1501-S
MP-Filtri MR2503A10AP01
IDEC HG3G-AJT22MF-B
Micro-Epsilon colorSENSOR OT-3-LD-200-12
AirCom MA5002-25
